Zirkoniumplattenziel
Material: Zirkonium Reinheit: 99,5%(2N5)-99.995%(4N5)Form: Quadratisch, rechteckig
Produkteinführung
Zirkonium ist ein grauweißes, glänzendes Metall, das zur Gruppe der Übergangsmetalle im Periodensystem gehört. Zirkonium ist äußerst korrosionsbeständig und hat einen hohen Schmelzpunkt, was es für eine breite Palette industrieller Anwendungen nützlich macht.
Es handelt sich um ein dünnes, flaches Stück Zirkoniummetall, das als Ziel in verschiedenen Anwendungen verwendet wird, darunter physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und Sputtern. Bei diesen Verfahren wird ein Strahl aus Ionen oder Atomen darauf gerichtet, wodurch es erodiert und ein dünner Film aus Zirkonium auf einem Substrat abgeschieden wird.
Andere Ziele aus Zirkoniumlegierungen wie TiZr, NbZr usw. können angepasst werden.
Zr-Plattenzielspezifikation
Reinheit | 99.5%-99.995% |
Form | plan, Platte |
Material | Zirkonium |
Abmessungen | 12x132x1701mm und kundenspezifische Zeichnung |
Oberflächenrauheit | Ra 0.8-Ra 3,2 für Ziel |
Körnung | <200um |
Größenbereich | Länge 200 mm bis 2000 mm x B40 mm~500 mm x T1mm~50mm als Ihre Gewohnheit |
Chemische Zusammensetzung des Zr-Plattenziels (Reinheit 99,5 %)
Artikelinformationen | Probennummer | Anmerkung | ||
Nr.01 | ||||
Chemische Analyse | Cr | W / % | 0.012 | ASTM E2371-13 |
Fe | W / % | 0.02 | ||
Hf | W / % | 1.989 | ||
Artikelinformationen | Probennummer | Anmerkung | ||
Nr.01 | ||||
Gasanalyse | C | W / % | 0.011 | ASTM E1941-10 |
H | W / % | 0.0017 | ASTM E1447-09 | |
N | W / % | 0.0038 | ASTM E1409-13 | |
O | W / % | 0.089 | ||
Anwendung
Es wird häufig bei der Herstellung dünner Filme für verschiedene Anwendungen verwendet, darunter optische Beschichtungen, Halbleiterbauelemente und Dünnschicht-Solarzellen. Sie werden oft aus hochreinem Zirkonium hergestellt, um die Qualität und Konsistenz der abgeschiedenen Filme sicherzustellen.
Die Größe und Form können je nach Anwendung und verwendeter Ausrüstung variieren. Zr-Ziele können kreisförmig, rechteckig oder anders geformt sein und eine Größe von einigen Zentimetern bis zu mehreren Metern haben.
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